進口parylene派瑞林鍍膜設備Series 3000 CR系統專為需在潔凈室環境中運行的工藝應用而設計。廣泛應用于多個行業，包括航天航空、半導體、新能源、軍工、汽車、手機、新型顯示、電子元器件、光通訊、軌道交通、3C數碼及電子等領域。通過Parylene涂敷后的產品具有高度的絕緣強度、耐高低溫、抗腐蝕、耐酸堿、潤滑、防塵、防水、防潮、防銹、透明、抗老化、生物相容性等作用。

Series 3000 CR系統一體化泵架能夠顯著減少顆粒物排放，從而為潔凈室在最嚴苛的環境下提供更為清潔和緊湊的整體解決方案。  因在小占地面積下提供高性能技術，節約大量的超凈間占地空間，該系統已被全球眾多潔凈室設施，例如醫藥、航空航天、汽車、高科技電子及高等院校廣泛采用，且其應用范圍與使用數量仍在持續增長。

Series 3000 CR系統具有以下優勢：

具備模塊化組裝結構，并提供可調節尺寸的工藝腔室；

系統支持多種可選配置，包括轉盤裝置及適配不同基板類型的夾具；

工藝腔室的裝載操作于潔凈室內完成；

卸載則通過位于過渡區域（灰區）的氣閘門實現。

進口parylene派瑞林鍍膜設備Series 3000 CR

我們提供的Parylene派瑞林真空鍍膜設備既有適用于科研領域的實驗型機型，也有適用于工業量產領域的工業機型。同時，我們也可以根據需求在真空腔體中集成等離子源，實現在沉積之前能夠對基材進行表面化處理，從而提高薄膜的粘附性。另外，我們也可以提供適用于超凈間使用的系統設計，在小占地面積下提供高性能技術，節約大量的超凈間占地空間。

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